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高纯气体*变送器Pura

品牌：密析尔

产地：英国

高纯气体*变送器Pura产品简介

密析尔仪表目前向市场推出了简单的、经济的、相当*的方案，用来在线测量*值，下限**的-120℃ (相当于不到 1 ppbV)。 

Pura*变送器是基于密析尔仪表多年在阻**传感器生产和校验的*经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的*适用于半导体制造行业和*纯气体应用场合，测量微量湿度水平的一体式变送器。

高纯气体*变送器Pura产品特点

测量下限-120℃* (1 ppbV)

测量稳定，重复性好

高度集成的采样装置 

模拟和数字输出

安装简便，设计紧凑小巧

VCR过程接口 

显示/报警单元可选 

高纯气体*变送器Pura技术参数 

传感器类型：密析尔陶瓷湿度传感器 

量    程：-120 ~ -40°C * (校验到 -100 ~ -40°C) 

精    度：±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值) 

分 辨 率：0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C 

压    力： 10-9 torr; *大 24 MPa  

气体流量：1 ~ 5 Nl/min 

电    源：通常 24 V DC, 10 V ~ *高28 V , *大电流 25 mA 

输    出：4-20 mA 输出, 对应范围可由*软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)

*大负载= 100Ω+ 50Ωx (V电源-8) 

输出出错状态：标准输出出错信息如下: 23mA=传感器故障；20 mA=*上限；4 mA=*下限 

传感器套筒：不锈钢， 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光 

气路连接端口：Premium 或 * 型：¼" m VCR 接口

Pura Sensor 型：½" m VCR 接口  

安装配置：Premium或* 型：120.00mm 长，气路端口的端面密封。无需预留管路空隙

底座上有2个M4 x 0.7， 7mm 深的安装孔，斜对面横竖间距均为 20 x 20mm

Pura Sensor 型：适用于用户提供的 ½" VCR 端口中  

尺    寸：Premium或*型：120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型：132 x 35mm 

重    量：Premium或*型：450g

Pura Sensor 型：180g 

包    装：Pura：双层包装, 惰性气体填充密封

Pura * 或 Pura Sensor 型：单层包装

*选配件：*包装运输

Sensor 型在传感芯片端自带保护套，用以运输及操作